▲英特格台灣區總經理謝俊安 。（圖／資料照）
記者周康玉／台北報導
半導體材料廠英特格（Entegris）今（21）日針對與EUV光罩廠家登（3680）纏訟多年後達成和解一案，首度表示看法。英特格總裁暨執行長Bertrand Loy表示，和解是雙方最好的結果，此結果將有助客戶發展。
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家登與英特格同為極紫外光光罩盒（EUA Pod）供應商，雙方為專利攻防往返10年之久，英特格在2015年5月控家登，主張家登製造銷售的光罩傳送盒侵害其專利權，向家登求償1000萬，後追加為10億，纏訟5年，雙方終在上（11）月18日達成和解。
英特格總裁暨執行長Bertrand Loy表示，目前因仍在緘默期，不便評論此事，但可確定的是此結果有助客戶發展。
英特格台灣區總經理謝俊安表示，EUV在半導體製程扮演關鍵角色，和解對雙方來說是最好的結果，對產業、客戶都皆如此。