▲荷蘭半導體設備製造商艾司摩爾（ASML）柏林廠傳出火警。（示意圖／CFP）
記者高兆麟／綜合報導
荷蘭半導體製造設備大廠艾司摩爾（ASML）3日指出，公司位在德國柏林的工廠發生火災，儘管無人傷亡，但具體影響還有待評估。
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ASML是全球晶片製造商的關鍵設備主要供應商，也供應台積電等大廠EUV設備，據外媒路透社報導，失火的ASML柏林廠主要製造微影系統需要的零組件，包括晶圓固定工作台、晶圓夾具、光罩吸盤、反射鏡等。
ASML聲明指出，現在要談損失或火災事件，是否會對今年的生產計畫，產生任何影響並發聲明，還為時過早，公司還需要幾天時間來評估損失，將會儘快向市場提供最新資訊。
不過業界人士也指出，儘管ASML火警可能影響EUV供應，但供需失衡的狀況下，反倒有利台積電的基本面，假若ASML生產因此被影響，可能會阻礙近期晶圓代工廠的擴廠計畫，在供給受限的情況下，對於基本面反而是有利的，因此對台積電股價來說，或許反而是利多。