竹科氣體廠火警釀C級壓降 台積電、聯電:生產不受影響

▲竹科爆炸。(圖/記者陳凱力攝)

▲竹科亞東氣體早上發生火警,引起周圍供電壓降。(圖/記者陳凱力攝)

記者高兆麟/綜合報導

竹科園區內,負責供應園區半導體廠商特殊氣體使用的亞東氣體,廠區早上突然發生火警,疑似是因為變壓器過熱引發1樓變電室起火,台電解釋經查為園區內某161kV特高壓用戶廠內設備故障跳脫,引起鄰近電網電壓擾動,不過還好只有瞬間壓降,並未對台積電、聯電等廠造成影響,力積電則表示,有部分未裝設不斷電系統的機台則受影響。

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今日早上位於新竹科學園區的亞東氣體廠突然發生火警,工廠冒出黑煙,並出現明顯火光,同時也因為火警,引起周圍廠區電壓驟降,經過台電確認後,表示經查為園區內某161kV特高壓用戶廠內設備故障跳脫,引起鄰近電網電壓擾動,台電公司供電設備未受影響,持續維持園區雙迴路供電。

竹科管理局副局長陳淑珠表示,火災部分,新竹市消防局都已經到場積極撲滅火勢中,由於是單一廠商火警,應該可以在很短時機內撲滅控制,至於壓降部分,屬於C級壓降,時間非常短,只有零點幾秒的瞬間。

根據台電壓降等級分類,C級壓降是壓降持續時間落於0.05秒到1.0秒之間的壓降事件。

至於對園區內廠商影響,台積電和聯電都表示,生產營運並未受到影響ㄝ世界先進則說,竹科廠區有短暫壓降,並沒有停電,對公司生產沒有影響。

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力積電則表示,上午竹科廠區有80多毫秒的壓降,部分機台緊急啟動不斷電系統,但部分未裝設不斷電系統的機台則受影響,具體影響目前正評估中。

台積電、聯電等半導體業晶圓廠製程需要用到的氮氣、氨氣、氫氣,還有製程中CVD、Etch會用到特殊氣體,亞東均有供應,是否會影響到半導體的氣體供應,有待災損的情況而定。