▲濾能董事長黃銘文。（圖／記者高兆麟攝）
記者高兆麟／綜合報導
國內半導體先進製程AMC防治專業廠商濾能（6823）今（30）日以每股98.60元正式掛牌上櫃，濾能2021年度營業收入達8.29億元，年增率為28.01%，每股稅後盈餘為5.46元；2022年第一季營收達2.48億元，每股稅後盈餘0.78元。
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在先進製程線寬線徑越來越窄之下，AMC對於製程良率的影響持續增加，AMC污染防治工具已成為先進製程的標準配備。濾能主力產品模組化化學濾網主要應用區域為無塵室風扇過濾單元(FFU)，尤以12吋先進製程廠區為大宗，在國內10奈米以下先進製程市場占有率已近五成，且隨著先進製程廠房擴增、製程升級，將使AMC防治廠房及機台濾網耗材更換需求頻率上升，濾能所提供之AMC防治產品需求也必然大幅提升，未來營運動能相當樂觀。
濾能表示，AMC防治是半導體先進製程不可忽視的議題，尤其是製程微縮至5奈米以下，大約只要5～17個污染氣體分子沉積就可占滿5奈米線寬並造成良率降低，而且隨著半導體電晶體結構在3奈米或2奈米轉換至環繞閘極（GAA），微污染對良率影響更加敏感，所以AMC防治已是維持先進製造環境潔淨度不可或缺的重要綠色製程方案。
在碳中和世界潮流推動下，主要客戶已向供應商提出將會把供應鏈碳足跡與減碳績效納入其重要採購指標，要求其供應商在2030年前必須節能20%，濾能自成立之初即致力於AMC防治，早已意識到節能減碳的重要性，並提出次世代產品可回收的循環經濟，除了框體/濾材重複使用可減少60%以上廢棄物外，不可再次使用的濾材也可以再製成RDF燃料棒用於生質能發電，燃燒後的底渣也可以製成環保高壓磚或是水泥添加物，達到100%回收、零廢棄物的循環經濟。
濾能擁有TAF 17025專業實驗室及多領域研發團隊，能在第一時間協助客戶發掘環境濃度問題，並提出客製化防治方案，110年為因應主要客戶加速建廠及廠區維護需求，動工興建南科廠房，將導入自動化設備，提升自製比重，也將做為再生濾網發展基地，加速研發應用於次世代先進製程的新產品。而因主要客戶為全球半導體產業先進製程之領先者，為能保持技術領先優勢，持續進行產品研發計畫，也針對循環經濟及再生材料提升之相關大方向進行開發，穩定現有技術並投入研究發展之資源，將藉由入駐南科之半導體群聚效應，深耕技術基礎，規劃進軍國內外市場。
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法人表示，晶圓代工龍頭近年來積極轉換採用綠色製程，並在去年向供應商提出將會把供應鏈碳足跡與減碳績效納入其重要採購指標，至於旺宏、美光、南亞科等記憶體廠，新建生產線亦優先採用綠色製程；濾能AMC方案已超前部署，並搭上綠色製程潮流之產業趨勢，未來在先進製程技術持續推動下，加上全球先進製程競賽驅動半導體廠積極擴建，公司南科產能到位以後，供應客戶新建廠和再生濾網需求，可望同步帶動其營收及獲利表現。