魏哲家證實「台積電已買高數值孔徑EUV設備」 暫僅限研發用

▲台積電董事長魏哲家。（圖／記者高兆麟攝）

記者高兆麟／新竹報導

台積電（2330）今（4日）舉行股東會，董事長魏哲家回應股東提問時表示，「我們已採購高數值孔徑極紫外（High-NA EUV）光刻機用於研發，但因成本過高影響，當前量產階段暫不需要高數值孔徑極紫外設備。

有股東關切台積電是否因成本考量而不投入下一代High-NA EUV（高數值孔徑極紫外光）微影設備，深怕影響未來先進製程競爭力。

魏哲家說，「我們有買High-NA EUV，而且正努力研發技術，但目前不需要拿來做生產，因為成本稍微有點高，會盡量降低成本，能發揮好處才會進入生產，我們都買了，但買幾架就不好意思講了。」

光刻機主要由艾司摩爾（ASML）生產銷售，此前台積電傳出購買成本太高不購買High-NA EUV，影響ASML 股價，惟目前ASML美股夜盤波動不大，小跌逾0.5%。