▲台積設備博覽會。（圖／記者廖婕妤攝）
記者廖婕妤／台中報導
台積電（2330）今（15）日於台中科學園區晶圓15A廠舉辦中科廠次「台積設備博覽會（EE Workshop）」，今年為第11屆設備博覽會，台積電也首度對媒體開放，現場共展出76件台積電設備工程師的創新作品，利用大量AI、自動化、影像辨別、精密感測應用及模擬等技術，改善產品良率並提升工作效能。
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台積電廠務副總經理莊子壽表示，設備博覽會要培養專家，透過舉辦設備博覽會，提供設備工程師或是對製程有興趣的同仁一個創新的舞台，透過實際成果展出，促進廠區設備同仁互相觀摩學習，希望能夠舉一反三，激盪出更多創意想法跟改善成果。
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台積設備博覽會今年邁入第11屆，11月對台積電來說是特別的「EE設備月」，因此今年特別擴大舉行，有些專題講座跟系列活動。設備博覽會共有4大面向，分別是「系統整合」改善、「設備改造」改善、設備工程師發明的「好用工具」，以及「環保節能減碳」議題。
台積電介紹，其中一項作品，可以透過機器手臂取代人工搬運，直接用自動化取代人力，搭配控制系統，利用電子紙記錄情況，同時也可以節省包裝，取代塑膠袋浪費，「每年光台積電產生的塑膠袋就有400萬個，疊起來大概有30座101那麼高，且都不能重新再利用，因此相當浪費，透過這項創新作品，還可以達到環保效益。」
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另外，台積電也首創蝕刻設備的電漿全自動清潔及AI影像辨識機器人，在製程過程中，會有附屬物沾附在旁邊，過去只能委外清洗，但手法都不一致，因此有的廠會想自己去做，台積電透過產學合作，利用這些創新技術，透過電漿清潔，並利用影像辨識是否清潔乾淨，一年可以省下4億元。
▲台積電首創蝕刻設備的電漿全自動清潔及AI影像辨識機器人。（圖／記者廖婕妤攝）
此外，隨著廠區擴充，台積電每年會增加逾4000台的高空走行式無人搬運車（OHT），預估今年底將會破2.2萬台，不過OHT的檢測其實相當耗時，因此台積電工程師打造OHT自動健檢站，檢查頻率從一年一次，提升到一周一次，大幅提升50倍，除了可以避免缺陷發生、節省人力外，還可以剩下預算。
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