台積電劉德音:3奈米進度超前

▲▼台積電2018年第四季法說會,董事長劉德音。(圖/記者季相儒攝)

▲台積電董事長劉德音。(圖/資料照)

記者周康玉/台北報導

台積電董事長劉德音受邀於2021年國際固態電路會議(ISSCC 2021)線上專題演說時,釋出令人振奮消息,他說,台積電的3奈米製程按照計畫時程發展,甚至比預期進度超前一些;因此他有信心看到未來節點將會如期而至。

受到疫情影響,今年的ISSCC改以全線上方式舉行,於美國時間2月13日至22日舉行。劉德音擔綱開場演說,主題為「揭密創新未來」(Unleash the Future of Innovation),談到許多引領半導體技術發展至今的創新,以及繼續向前邁進的潛在途徑。

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劉德音表示,半導體製程微縮腳步並未減緩,積體電路的功耗、性能與電晶體密度仍在持續進步,台積電的3奈米製程按照計畫時程發展,甚至比預期進度超前了一些;因此他有信心看到未來節點將會如期而至。

除了在製程節點上的超前,極紫外光微影(EUV)技術也是一大挑戰。劉德音說,EUV因為能讓製程過程中,使用較少層數的光罩,達到理想成本,但量產仍是個問題。此外,EUV功耗極大,台積電也為此取得350W照明光源技術突破,可支援5奈米量產、甚至到1奈米節點。

關鍵字: 台積電3奈米

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