快訊／台積電深夜發聲明 設備復原率已超過7成「EUV皆未受損」

▲台積電。（圖／記者高兆麟攝）

記者高兆麟／綜合報導

晶圓代工龍頭台積電（2330）晚間發布最新聲明，表示今日在地震發生後10小時內，晶圓廠設備的復原率已超過70%，新建的晶圓廠的復原率更已超過80％，儘管有部分設備受損影響生產，但主要機台及EUV都沒有損傷，將繼續密切監控並適時與客戶直接溝通相關影響。

台灣於今（3）晨經歷芮氏規模7.2地震，為過去25年來最強。新竹、龍潭和竹南等科學園區的最大震度級為5 ，台中和台南科學園區的最大震度級則為 4。

台積電表示，公司在台灣的晶圓廠工安系統正常，為確保人員安全，依公司內部程序啟動相關預防措施，部分廠區在第一時間進行疏散，人員皆平安並在確認安全後回到工作崗位，詳細影響正在確認中。

另外，台積電建廠工地狀況檢查初步正常，因安全考量已決定今日台灣各地工地停工，待檢查後再行施工。

台積電表示，基於公司在地震應變和災害預防上擁有豐富經驗與能力，並定期進行安全演習以確保萬全準備。在4月3日地震發生後僅10小時內，晶圓廠設備的復原率已超過70%，新建的晶圓廠（如晶圓十八廠）的復原率更已超過80％。雖然部分廠區的少數設備受損並影響部分產線生產，主要機台包含所有極紫外（EUV）光刻設備皆無受損。

台積電表示，公司已有資源到位以加速達到全面復原，且已在今日持續復工中，也與客戶保持密切溝通。台積電將繼續密切監控並適時與客戶直接溝通相關影響。