隨著半導體先進製程演進，氣態分子汙染物（AMC）控制技術已成為提升晶圓良率的關鍵。為減少因過濾AMC而產生的化學濾網廢棄物，台積電改良濾網結構，延長其使用壽命，截至民國110年6月，共減少濾網廢棄物3,251公噸、碳排放量12,028公噸，約當31座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量，成功創造超過新台幣16億元減廢總效益。
2021-08-01 12:37
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