台積電創新化學濾網應用 累計創造逾16億元減廢效益

▲台積電攜手供應商創新化學濾網應用，累計創造逾16億元減廢效益。（圖／取自台積電官網）

記者高兆麟／綜合報導

隨著半導體先進製程演進，氣態分子汙染物（AMC）控制技術已成為提升晶圓良率的關鍵。為減少因過濾AMC而產生的化學濾網廢棄物，台積電改良濾網結構，延長其使用壽命，截至民國110年6月，共減少濾網廢棄物3,251公噸、碳排放量12,028公噸，約當31座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量，成功創造超過新台幣16億元減廢總效益。

台積電減廢1.0：改良濾網吸附效能，延長使用壽命，有效減廢逾70%

AMC為環境中沉降於晶圓表面形成單分子層薄膜的氣態化學汙染物質，由於半導體製程線寬隨著技術進步日益縮小，對於無塵室生產環境的潔淨度要求亦趨嚴格，導致濾網用量增加。

台積電觀察廠區使用情況，發現化學濾網對酸性氣體、鹼性氣體、有機物3種物質吸附能力不同，因此廠務處、資材供應鏈管理處攜手供應商開發長效型化學濾網，透過調整濾網吸附有機物的濾料比例，將化學濾網的使用壽命延長1倍，並自民國107年起大量採用。

為最大化濾網使用效率，民國108年，台積公司全面改用拆解式化學濾網，將原本整合型不可分割的化學濾網，進一步根據酸性氣體、鹼性氣體、有機物不同的吸附特性進行結構分割，除了降低更換作業可能造成的人因傷害，整體而言，透過改良濾網吸附效能及結構，已有效減少超過70%的濾網廢棄物。

▲台積電化學濾網使用進化史。（圖／取自台積電官網）

台積電減廢2.0：研發濾網再生功能，使其可重複使用，總計減廢達90%

民國109年，台積電再次攜手供應商透過優化濾網結構，以物理方式恢復其初始吸附效能，使濾網可重複使用，民國110年3月已完成驗證，預計民國111年將陸續導入台灣廠區所有晶圓廠，未來可望每年再減少20%濾網廢棄物，總計減廢達90%。

同時，台積電亦針對外氣空調箱使用的濾網進行結構改良，透過降低壓損提升其過濾與節能效果，預計民國111年導入後，每年將可節電3,500萬度，持續朝節能減碳、循環再生的永續目標邁進。