7奈米以下半導體製程 FIB光束需升級「單顆原子」才夠力

▲原子大小的光束。(圖/埃爾思科技提供)

▲包含台積電的7奈米以下半導體製程,現有FIB設備,光束需升級到「單顆原子大小」(0.3奈米)才夠力。(圖/埃爾思科技提供)

記者吳佳穎/台北報導

隨著半導體製程達到7奈米以下,原本用於半導體元件失效分析、樣品製備的FIB(聚焦離子束)設備已越來越難滿足要求。由於目前市面上主流FIB,使用液態金屬鎵作為離子源,光源尺寸約50奈米,在進行局部材料移除時,對樣品有明顯破壞。現在已有「單原子離子光源技術」科學研究成果,能提升現有FIB設備,光源尺寸僅單顆原子大小,約0.3 奈米,最快有機會在2024年問世。

FIB(聚焦離子束)設備具備顯微成像、局部材料移除與沉積的能力,被廣泛應用於半導體元件失效分析、樣品製備、生醫與醫藥領域的顯微成分分析等。但隨著半導體製程進步到7奈米以下,原有FIB設備已經不太夠力。

新創團隊埃爾思科技傳承中央研究院物理研究所,累積30年的場發射技術,其創辦人張維哲博士及團隊,具有多年的單原子離子光源研發經驗,近期研發出光源尺寸僅有單顆原子大小(約0.3 奈米)、原子尺寸的離子光源,具有最高亮度,是世界最尖端的帶電粒子束光源科技,能夠大幅改進FIB的材料移除分辨率。

[廣告]請繼續往下閱讀...

張維哲表示,2019年決定創立埃爾思科技,就是希望將專利加速商業化發展,成新世代FIB系統的開發。目前這項單原子離子光源的商業化項目,已取得國際設備大廠的先期合作,並共同開發新世代的FIB設備,最快有機會在2024年問世。

另外,相關專利也衍生出許多金屬針尖製造技術,展出奈米探針、微米探針、掃描穿隧顯微鏡(STM)探針等產品。

張維哲解釋,Nano Probing系統是目前先進半導體製程中,進行電性量測的重要工具,需要使用奈米尺度的金屬針尖,對樣品進行接觸式量測,大量應用於研發與故障分析,奈米探針是這種設備的主要耗材。

當製程進入10奈米以下,所需要使用的探針規格要求越來越高,埃爾思科技能提供業界最高規格之奈米探針(針尖曲率半徑小於3奈米),能勝任最先進半導體製程的故障分析需求。

埃爾思的奈米級與微米級探針,則已經通過市場驗證,並達到少量出貨的階段,正擴大生產規模且積極進行市場推廣。埃爾思團隊優越的表現也獲得政府研發補助專案的肯定,先後取得高雄市SBIR計畫補助,以及獲選為經濟部SBIR創業概念海選計畫明星組Stage1,與創新擇優Stage2計畫技術創新突破類補助個案。

[廣告] 請繼續往下閱讀 ...

另外,埃爾思今年初也獲得專注於科技新創早期投資與育成陪跑的誠研創新(股)公司的天使輪投資,期待創造更大的格局與市場價值。

關鍵字: 7奈米FIB設備半導體埃爾思 

分享給朋友:

※本文版權所有,非經授權,不得轉載。[ETtoday著作權聲明]

推薦閱讀

快訊/高嘉瑜真的沒戲! 欣欣百貨宣布董事長李文英出線

快訊/高嘉瑜真的沒戲! 欣欣百貨宣布董事長李文英出線

欣欣百貨今日近中午宣布,董事會「全體一致通過」由李文英接任董事長一職。

2025-02-19 11:46

首例!勞動部設「職場霸凌防治專章」 北分署輕生公務員獲追頒

首例!勞動部設「職場霸凌防治專章」 北分署輕生公務員獲追頒

勞動部勞發署北分署1名吳姓公務員去年11月因職場霸凌而輕生,勞動部長洪申翰今(19)日證實,會追頒「三等勞動專員獎章」,且向考試院提出「因公撫恤」申請也通過,會依相關規定來做辦理;此外,勞動部也將在職安法當中設立「職場霸凌防治專章」,希望這個會期能夠送立法院審議,洪申翰說,專章是可以比較快速完成,中長期考慮是否擬定專法,但無論如何,能有效處理霸凌問題才是關鍵。

2025-02-19 10:48

抽中拼賺40萬!印能吸逾8萬筆申購 凍資破千億

抽中拼賺40萬!印能吸逾8萬筆申購 凍資破千億

證交所、櫃買中心今(19)公告,興櫃股王、擁「封測小巨人」外號的印能科技(7734)上櫃前公開申購結束,共吸80408筆投資人參與,以申購價1250元、每張125萬元估算,凍資逾千億元。

2025-02-19 11:22

不是高嘉瑜!欣欣百貨董事長尤志煌異動 李文英接任法人代表

不是高嘉瑜!欣欣百貨董事長尤志煌異動 李文英接任法人代表

欣欣百貨(2901)今(19)日重大訊息,公告接獲國軍退除役官兵輔導委員會通知,董事長尤志煌所代表的法人董事席次異動,改由前台北市政府副祕書長李文英接任,至於董事長人選,公司尚未正式公告。

2025-02-19 09:06

79萬股民放心!00929填息達陣 3/18日入帳

79萬股民放心!00929填息達陣 3/18日入帳

擁有逾79.8萬名受益人的「月配ETF始祖」復華台灣科技優息(00929)今(19)日除息,每股配息0.05元,為連續3次維持低檔,除息參考價18.62元,最高來到18.78元,收益入帳日為3月18日。

2025-02-19 10:15

日月光檳城廠內部曝光 無塵室曝光一窺半導體廠作業流程

日月光檳城廠內部曝光 無塵室曝光一窺半導體廠作業流程

日月光馬來西亞檳城五廠今日正式啟用,此次也對媒體公開辦公及員工活動區域,更帶領媒體穿上防塵衣,體驗工程師日常工作前的準備,以及進入無塵室一窺半導體廠作業流程。

2025-02-19 09:37

英特爾傳賣Altera給銀湖資本 股價上漲逾16%

英特爾傳賣Altera給銀湖資本 股價上漲逾16%

英特爾(Intel)在分拆出售消息下持續走揚,外電指該公司旗下特殊應用(FPGA)晶片部門Altera將賣給銀湖資本(Silver Lake),另有拆分事業傳出由台積電(2330)、博通(Broadcom)接手,促使Intel周二美股收盤每股報27.39美元,上漲16.06%,股價創去年8月以來新高,今年以來漲幅超過35.46%。

2025-02-19 09:12

台積電入股雜音!英特爾首席工程經理反彈 狠批「可怕錯誤」

台積電入股雜音!英特爾首席工程經理反彈 狠批「可怕錯誤」

在市場傳出美國半導體代表性公司英特爾(Intel)可能拆分代工與晶片業務,而台積電(2330)可望以技術入股方式取得代工事業2成股權的消息後,Intel首席工程專案經理Joseph Bonetti在個人領英(LinkedIn)平台上發言,直批將Intel賣台積電是「一個可怕的、令人沮喪的錯誤。」

2025-02-19 00:23

台積電去年大漲 這檔市值型ETF排它理由曝光

台積電去年大漲 這檔市值型ETF排它理由曝光

老牌台股市值型ETF有一個特點,就是台積電權重過高、接近6成,不少投資人對這樣的結構感到憂慮,擔心風險分散不足,因為未來績效好壞都必須看台積電臉色。而即將在2月24日展開募集的009802(富邦旗艦50),雖為市值型ETF,目前成分股無台積電,令人好奇背後原因,及現在該如何布局才聰明?

2025-02-19 12:46

不只穩還要衝 3策略買市值型ETF賺更多

不只穩還要衝 3策略買市值型ETF賺更多

台股新市值型ETF問世,訴求「動能策略」,與傳統市值型ETF有何差異?根據指數回測統計,對存股族來說,拉長時間來看,新一代市值型ETF報酬率表現大勝傳統市值型ETF;透過策略師分析,傳授投資人操作要領,善用ETF動能特性,在多頭行情賺更多。

2025-02-19 12:44

讀者迴響