台積電南科廠製程傳氣體污染出包 5奈米部分產線停產

▲台積電位在南科的晶圓18廠傳出停產，但公司表示是進行氣體調度，目前生產正常。（示意圖／路透社）

記者高兆麟／綜合報導

半導體龍頭台積電(2330)傳出南科晶圓18廠5奈米產線昨日晚間停產，據供應鏈廠商透露，疑製程中氧氣供應出包導致。由於兩年前台積電發生晶圓受到污染事件，還因此調降財測，這次情況更引起外界關注。

對此，台積電澄清並沒有這樣的狀況，而是進行調度氣體，生產都正常。不過台積電一早股價表現弱勢，於580元附近遊走。

昨日台積電南科晶圓18廠驚傳5奈米全面停工，台積電也發聲明回應，南科部分廠房來自廠商供應的部分氣體疑似受到汙染，已即時調度其他氣體供應。台積公司為確保生產品質無虞，目前正進行嚴密後續作業。此事件目前已知對營運並無造成顯著影響，後續將持續追蹤。

台積電日前在法說會中表示，目前5奈米是業界最先進的解決方案，並擁有最佳效能，並且已經進入量產的第二年，良率目前良好，預估在智慧型手機和HPC相關應用驅動下，5奈米需求會持續強勁，並預期在2021年，5奈米的銷售將佔20%。