▲竹科亞東氣體廠早上發生火警,引起供電壓降。(圖/記者陳凱力攝)
記者高兆麟/綜合報導
新竹科學園區內的亞東氣體廠房早上因為變壓器過熱起火,火災也造成園區內發生大規模跳電,對此竹科管理局副局長陳淑珠表示,目前消防人員都已經在現場處理撲滅火勢中,至於跳電影響,據了解是瞬間壓降,目前台電也正在處理當中。
竹科園區內,負責供應園區半導體廠商特殊氣體使用的亞東氣體,廠區早上突然發生火警,據了解,疑似是因為變壓器過熱引發1樓變電室起火,對此竹科管理局副局長陳淑珠表示,火災部分,新竹市消防局都已經到場積極撲滅火勢中,由於是單一廠商火警,應該可以在很短時機內撲滅控制。
至於因為火警引起園區內大規模跳電,陳淑珠表示,據目前了解以及廠商反應情形,跳電只有瞬間壓降,時間非常短,只有零點幾秒的瞬間,目前針對壓降情形,台電也已經在處理當中,相關細節目前也正持續了解。
台電則指出,針對新竹科學園區部分用戶今(19)日發生電壓驟降,台電表示,經查為園區內某161kV特高壓用戶廠內設備故障跳脫,引起鄰近電網電壓擾動,台電公司供電設備未受影響,持續維持園區雙迴路供電。
台積電、聯電等半導體業晶圓廠製程需要用到的氮氣、氨氣、氫氣,還有製程中CVD、Etch會用到特殊氣體,亞東均有供應,是否會影響到半導體的氣體供應,有待災損的情況而定。
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