▲台積電。（圖／記者高兆麟攝）
記者高兆麟／綜合報導
為了呼應聯合國第7項永續發展目標，台積電針對先進製程機台管路加熱裝置啟動「節熱省電二階段計畫」，透過優化既有裝置、研發導入新材料，成功減少熱散失並提升節能成效。台積電表示，民國112年11月，海內外既有廠區1,261台管路加熱裝置已全數完成優化調整，年節電4461萬度、減碳2萬2000公噸，相當於57座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量，落實《環境保護政策》承諾。
台積電表示，半導體製程機台運作時產生的反應氣體經由管路系統輸送至相關處理設備，一般會於管路外部包覆加熱裝置，以減少氣體輸送時因溫度變化而形成結晶導致管路阻塞；為避免管路加熱裝置隨著機台數量同步增加而使能耗上升，台積電於民國107年起展開二階段計畫，第一階段為「優化既有裝置」，透過全面盤點不同製程機台產生的反應氣體特性與輸送流量，研究其阻塞管路的程度強弱並經產線實測後，共移除508台管路加熱裝置，同時亦依據製程需求分析最適化的加熱器溫度設定、增加保溫套件厚度，共調整209台管路加熱裝置，除提升整體能效，亦減緩廠區人員維護管路作業負擔，總計節電3612萬度。
在第二階段「研發導入新材料」方面，台積電針對保溫套件研發新型的氣凝膠材料，經驗證氣凝膠高絕熱、低熱傳特性能有效減少熱散逸，相較於原先的玻纖材料可再節能20-30%，此創新做法獲首屆TSMC ESG AWARD酷炫點子獎肯定且付諸實行；目前既有廠區已改造544台，節電849萬度，新建廠區則直接導入新版管路加熱裝置，同時更新採購規格、列入未來新廠標準配備，強化節能效果。
台積電表示，公司致力朝機台節能最大化的永續目標邁進，除持續維護既有廠區機台管路加熱裝置效能，因應新廠建置並陸續導入使用新版管路加熱裝置，民國113年將啟動節能驗證程序，預計民國119年節電達8,000萬度，為實踐淨零排放願景全力以赴。
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