跟著台積電腳步...英特格砸1.8億投資台灣

▲▼英特格   。(圖/記者周康玉攝)

英特格台灣區總經理謝俊安 。(圖/記者周康玉攝)

記者周康玉/新竹報導

半導體材料商英特格今(31)日宣布將砸1.8億元(約為600萬美元),擴大台灣技術研發中心,以因應先進製程在量產、性能等需求,台灣區總經理謝俊安表示,英特格每年都會有9%的研發支出,客戶在哪,英特格就在哪設據點,因為R&D速度都很快,只有更靠近客戶才能快速跟著客戶成長。

英特格分為三大事業群,包括特用化學品、特用氣體事業群;氣體、水的過濾和物體的移動所需載具事業群,謝俊安表示,公司同時有這三事業群,可提供客戶更快速、整合性的解決方案。

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這次投入的研發技術,主要是導入高靈敏度KLA SP3晶圓檢測工具及相關設施,包含Class 10無塵室及ACT12塗佈機在內,此外,還進一步擴建新竹廠房,用於化學機械研磨(CMP)過濾器的奈米熔噴(Nano Melt Blown)濾芯的產能。

由於台灣半導體朝向先進製程發展快速,晶圓廠內要高靈敏度晶圓缺陷檢測需求也越來越高,英特格台灣技術研發中心所引進KLA SP3晶圓檢測系統,也讓英特格在台灣的晶圓檢測能力擴展至19奈米。由於新檢測工具導入,讓公司得以自行產出晶圓缺陷的數據,以引進新產品開發及改善產品性能。

跟著全球半導體晶圓廠大客戶都致力改善關鍵半導體製程,對於CMP過濾需求也日益增加,因此英特格擴大新竹廠的過濾器的奈米熔噴(NMB)濾芯產線,開發及提供更多的NMB產品,以協助客戶精進製成,縮短上市時間,在市場取得先機。

關鍵字: 英特格EUV台積電半導體材料

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