跟著台積電腳步...英特格砸1.8億投資台灣

▲英特格台灣區總經理謝俊安 。（圖／記者周康玉攝）

記者周康玉／新竹報導

半導體材料商英特格今（31）日宣布將砸1.8億元（約為600萬美元），擴大台灣技術研發中心，以因應先進製程在量產、性能等需求，台灣區總經理謝俊安表示，英特格每年都會有9%的研發支出，客戶在哪，英特格就在哪設據點，因為R&D速度都很快，只有更靠近客戶才能快速跟著客戶成長。

英特格分為三大事業群，包括特用化學品、特用氣體事業群；氣體、水的過濾和物體的移動所需載具事業群，謝俊安表示，公司同時有這三事業群，可提供客戶更快速、整合性的解決方案。

這次投入的研發技術，主要是導入高靈敏度KLA SP3晶圓檢測工具及相關設施，包含Class 10無塵室及ACT12塗佈機在內，此外，還進一步擴建新竹廠房，用於化學機械研磨（CMP）過濾器的奈米熔噴（Nano Melt Blown）濾芯的產能。

由於台灣半導體朝向先進製程發展快速，晶圓廠內要高靈敏度晶圓缺陷檢測需求也越來越高，英特格台灣技術研發中心所引進KLA SP3晶圓檢測系統，也讓英特格在台灣的晶圓檢測能力擴展至19奈米。由於新檢測工具導入，讓公司得以自行產出晶圓缺陷的數據，以引進新產品開發及改善產品性能。

跟著全球半導體晶圓廠大客戶都致力改善關鍵半導體製程，對於CMP過濾需求也日益增加，因此英特格擴大新竹廠的過濾器的奈米熔噴（NMB）濾芯產線，開發及提供更多的NMB產品，以協助客戶精進製成，縮短上市時間，在市場取得先機。