記者高兆麟/高雄報導
就在全球企業力推碳中和及以淨零碳排為目標之時,台灣身為晶圓代工龍頭,自然也不落人後,各大代工廠以及相關供應鏈也開始要求在製程或生產過程中,降低碳足跡,而身為台灣半導體製程中不可或缺的重要洗劑-電子級異丙醇重要供應鏈的李長榮化工,也在降低碳排及在洗劑的回收上,導入雙循環回收來將資源做更有效率的應用。
晶圓短缺持續,世界各大晶圓代工廠擴產動作不斷,李長榮化工也表示,將配合「重要客戶」進軍美國亞利桑那州,將雙循環模式佈局全球,與客戶合作擴大「循環經濟」的影響力。
▲李長榮化工林園廠廠長陳勻錡介紹廠內水循環設施。(圖/記者高兆麟攝)
李長榮化工目前生產半導體製程中的重要洗劑電子級異丙醇(EIPA),而為了配合半導體製程要求的超高精度,避免污染製程,李長榮化工所生產的電子級異丙醇,有著99.9999%的超高純度。
不過對於半導體業來說,除了純度外,更為重要的就是潔淨度,避免粒子掉入污染,因此在潔淨度上,李長榮化工也配合客戶要求,達到以PPt等級計算(約10的負9次方)的程度,並以密閉式灌裝,以及在無塵室維持Class 1000等級來保證產品品質不受污染。
▲李長榮化工林園廠中的異丙醇廢液儲存槽。(圖/記者高兆麟攝)
為了更環保及有效率的運用資源,李長榮化工也透過技術研發,在2016年成功將廢異丙醇可以回收再製,也為了達成碳中和的要求以及綠色製程,李長榮化工使用全球首創的電子級異丙醇循環回收製成,開創雙循環模式回收,在化學品循環中,可以使用客戶回收的半導體製程中所產生的廢液,以半導體客戶來說,電子級異丙醇經過產線之後,會變成10倍多的廢液送回來再製,經李長榮化工再製後,可再次成為電子級異丙醇。
在第二道水循環中,李長榮化工則表示,工廠可以完全回收廢液中的水讓工廠內部重複使用,邁向零液體排放。
李長榮化工也指出,其實當時要推動異丙醇回收時,也遇到一些挑戰,包括回收的廢液雜質高,容易損害設備,以及客戶會認為導入分流管理技術,重布回收管線困難度太高,另外,異丙醇再製的精度要求也高,相關法令又相當繁複,這些都是挑戰。
但李長榮化工也表示,透過公司內各部門的合作,以及和客戶展開同步合作,並配合法令鬆綁,才能達到目前政府規範的量能上限-每月7500噸廢液的回收能力,且到目前為止已經減少了約20,379噸的碳排放量。
針對海外擴廠計畫,榮化總經理劉文龍日前也曾表示,為了配合大客戶台積電的海外擴產,榮化也正在籌備美國設廠,並選定亞利桑那州,廠址也已經選好,最快明年Q1動工,主要生產電子級異丙醇(EIPA),投資金額約新台幣28億元,初期規劃年產能3萬噸,且這還只是第一期,目前除了國內客戶外,也已經有美國客戶的訂單,未來還可能會有擴張計劃。
劉文龍也說,榮化的電子級IPA應用於工業與電子業溶劑,供應半導體廠用在製程中的晶圓清潔,目前全球只有兩家化學品廠商有能力提供,榮化就是其中一家。
除了美國投資外,榮化也將投入19億元在中科設廠,同樣規劃設置年產能3萬的電子級異丙醇產能,預計2024年初完工,動工時間稍晚的原因則是,收購日本光學液晶材料大廠JSR株式會社旗下的台彎捷時雅邁公司的台灣工廠資產,現在正在點收當中,需要交接時間。
這一次榮化投資共砸下47億在台、美兩地設廠,完工後將為榮化增加6萬噸的EIPA產能,相比現在等同產能倍增,而隨著新廠完工產能投入,將可把現在IPA產品營收占比從2成拉到三分之一。
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