竹科氣體廠火警釀C級壓降 台積電、聯電：生產不受影響

▲竹科亞東氣體早上發生火警，引起周圍供電壓降。（圖／記者陳凱力攝）

記者高兆麟／綜合報導

竹科園區內，負責供應園區半導體廠商特殊氣體使用的亞東氣體，廠區早上突然發生火警，疑似是因為變壓器過熱引發1樓變電室起火，台電解釋經查為園區內某161kV特高壓用戶廠內設備故障跳脫，引起鄰近電網電壓擾動，不過還好只有瞬間壓降，並未對台積電、聯電等廠造成影響，力積電則表示，有部分未裝設不斷電系統的機台則受影響。

今日早上位於新竹科學園區的亞東氣體廠突然發生火警，工廠冒出黑煙，並出現明顯火光，同時也因為火警，引起周圍廠區電壓驟降，經過台電確認後，表示經查為園區內某161kV特高壓用戶廠內設備故障跳脫，引起鄰近電網電壓擾動，台電公司供電設備未受影響，持續維持園區雙迴路供電。

竹科管理局副局長陳淑珠表示，火災部分，新竹市消防局都已經到場積極撲滅火勢中，由於是單一廠商火警，應該可以在很短時機內撲滅控制，至於壓降部分，屬於C級壓降，時間非常短，只有零點幾秒的瞬間。

根據台電壓降等級分類，C級壓降是壓降持續時間落於0.05秒到1.0秒之間的壓降事件。

至於對園區內廠商影響，台積電和聯電都表示，生產營運並未受到影響ㄝ世界先進則說，竹科廠區有短暫壓降，並沒有停電，對公司生產沒有影響。

力積電則表示，上午竹科廠區有80多毫秒的壓降，部分機台緊急啟動不斷電系統，但部分未裝設不斷電系統的機台則受影響，具體影響目前正評估中。

台積電、聯電等半導體業晶圓廠製程需要用到的氮氣、氨氣、氫氣，還有製程中CVD、Etch會用到特殊氣體，亞東均有供應，是否會影響到半導體的氣體供應，有待災損的情況而定。