台積電砸300億元入股ASML 衝先進製程

▲台積電宣布斥資超過400億元取得ASML5%股權，衝刺18吋先進製程。(圖／台積電提供)　

記者蔡怡杼／台北報導

台積電積極卡位18吋先進製程，5日宣佈以8.38億歐元(折合台幣311億元)取得荷蘭艾司摩爾(ASML)5%股權，並承諾未來五年共投入2.76億歐元(折合台幣102億元)支持ASML的研發計畫，總計投資規模超過台幣400億元。

台積電宣布加入ASML「客戶聯合投資專案」(Customer Co-Investment Program)，希望加速下一世代關鍵半導體製造技術—極紫外光(EUV)微影技術與450mm(18吋)晶圓微影設備的開發及量產。

根據該協議，台積電將投資ASML 8.38億歐元以取得該公司5%股權，同時並承諾未來五年共投入2.76億歐元支持ASML的研發計畫。

台積電執行副總經理暨共同營運長蔣尚義博士表示，縮小積體電路尺寸(IC scaling)目前所面臨的最大挑戰之一，在於如何有效控制日益攀升的晶圓製造成本。台積電相信挹注ASML研發經費將確保並加快EUV微影技術的開發，同時也能提高既有光學微影工具的效能，促進450mm晶圓製造技術的快速發展。這項努力將有助半導體產業控制晶圓成本，保障摩爾定律持續演進可帶來的經濟效益。

ASML執行長Eric Meurice指出，歡迎台積電加入ASML今年7月9日公佈的『客戶聯合投資專案』，其目的是為了讓關鍵微影技術的發展順利且加速進行。這些技術不僅將使ASML的投資夥伴受益，整個半導體產業也得以受惠。

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