台積電、英特爾EUV光罩盒都要靠他 家登無塵室曝光

▲家登董事長邱銘墘。（圖／南管局提供）

記者周康玉／台北報導

供應全球晶圓大廠光罩盒的家登（3680）近期台南樹谷廠產能建置完成，其廠房和光罩盒無塵室也悄悄曝光，《ETtoday新聞雲》親自走訪這個生產出台積電、英特爾等大廠都必須要用到的關鍵材料廠房。

在台積電、三星、英特爾在角逐先進製程過程中，因極紫外光微影（EUV）技術能打破前一代微影技術的尺寸限制，此技術因而嶄露頭角，也讓光罩傳載盒（EUV Pod）成為當紅炸子雞，本土的家登和美商英特格（Entegris）是兩大主力供應商。其中，家登的光罩盒全球市占率高達8成，還是台積電極紫外光（EUV）光罩盒獨家供應商。

產能方面，光罩盒月產能最高達3500顆，其中EUV光罩盒月產能達1000顆，為迎接EUV設備帶來的商機，在台南樹谷、新北市土城擴廠，樹谷廠產能已到位，土城廠則於近期動工，完工後月產能將達4500顆，EUV光罩盒估達1500顆。然而，由於EUV光罩盒毛利較高，與非EUV光罩盒營收占比為5比5，加上新增的樹谷廠產能，今年可望衝上6成。

家登產品線以光罩盒和晶圓傳送盒（FOUP）為主，營收占比為8：2，去年下半因中美貿易戰，意外取得航太業的液壓控制管件加工商機，去年9月已小量試產，預計第二季開始小量出貨，明年可望有較顯著的營收貢獻。

▼家登光罩盒無塵室，下同。（圖／業者提供）

▼家登樹谷廠房鳥瞰圖。（圖／業者提供）

▼家登EUV光罩盒。（圖／業者提供）

▼家登晶圓載具盒。（圖／業者提供）