台積電、英特爾EUV光罩盒都要靠他 家登無塵室曝光

▲▼家登光罩盒無塵室。(圖/業者提供)

▲家登董事長邱銘墘。(圖/南管局提供)

記者周康玉/台北報導

供應全球晶圓大廠光罩盒的家登(3680)近期台南樹谷廠產能建置完成,其廠房和光罩盒無塵室也悄悄曝光,《ETtoday新聞雲》親自走訪這個生產出台積電、英特爾等大廠都必須要用到的關鍵材料廠房。

在台積電、三星、英特爾在角逐先進製程過程中,因極紫外光微影(EUV)技術能打破前一代微影技術的尺寸限制,此技術因而嶄露頭角,也讓光罩傳載盒(EUV Pod)成為當紅炸子雞,本土的家登和美商英特格(Entegris)是兩大主力供應商。其中,家登的光罩盒全球市占率高達8成,還是台積電極紫外光(EUV)光罩盒獨家供應商。

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產能方面,光罩盒月產能最高達3500顆,其中EUV光罩盒月產能達1000顆,為迎接EUV設備帶來的商機,在台南樹谷、新北市土城擴廠,樹谷廠產能已到位,土城廠則於近期動工,完工後月產能將達4500顆,EUV光罩盒估達1500顆。然而,由於EUV光罩盒毛利較高,與非EUV光罩盒營收占比為5比5,加上新增的樹谷廠產能,今年可望衝上6成。

家登產品線以光罩盒和晶圓傳送盒(FOUP)為主,營收占比為8:2,去年下半因中美貿易戰,意外取得航太業的液壓控制管件加工商機,去年9月已小量試產,預計第二季開始小量出貨,明年可望有較顯著的營收貢獻。

▼家登光罩盒無塵室,下同。(圖/業者提供)

▲▼家登光罩盒無塵室。(圖/業者提供)

▲▼家登光罩盒無塵室。(圖/業者提供)

▲▼家登光罩盒無塵室。(圖/業者提供)

▲▼家登光罩盒無塵室。(圖/業者提供)

▲▼家登光罩盒無塵室。(圖/業者提供)

▼家登樹谷廠房鳥瞰圖。(圖/業者提供)

▲▼家登光罩盒無塵室。(圖/業者提供)

▼家登EUV光罩盒。(圖/業者提供)

▲▼家登光罩盒無塵室。(圖/業者提供)

▼家登晶圓載具盒。(圖/業者提供)

▲▼家登光罩盒無塵室。(圖/業者提供)

關鍵字: 家登光罩盒EUV台積電英特爾

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