台積電創新先進製程機台綠色行動 目標節水2800萬噸、省電11億度

▲台積電透過機台參數設定優化、新技術縱效整合整合兩大策略，提升先進製程機台能資源使用效益。（圖／台積電提供）

記者高兆麟／綜合報導

隨著半導體製程快速演進，晶圓代工龍頭台積電（2330）也積極以創新思維提升能資源使用效率，除攜手供應商開發晶圓傳送盒清洗機台節水控制系統，亦進一步透過「機台參數設定優化」、「新技術綜效整合」二大策略，持續挖掘先進製程機台節水省電機會點，截至民國111年2月，已成功將6項行動方案導入台灣廠區十二吋超大晶圓廠的控片清洗機台及新機台，有效節省純水1,047萬噸、省電1億1,190萬度，目標於民國119年節省純水2,800萬噸、省電11億度。

台積電表示，面對先進製程日益複雜，為創造更多永續行動，民國110年，智能工程中心成立跨組織團隊，全面盤點先進製程機台用水量，發現濕式製程機台用水占總用量70%以上；因此，團隊進一步深入分析機台模組的源頭使用與終端排放情形，透過「機台參數設定優化」、「新技術綜效整合」二大策略，規畫出6項節水省電行動方案，精進能資源運用效益。

台積電也持續擴大節水省電行動方案應用範圍，預計民國111年第2季陸續導入台灣廠區十二吋超大晶圓廠的生產機台，同時將二大策略列入先進製程機台採購標準規格，於新機台引進前即完成對應的設計驗證與元件安裝，目標於民國119年節省純水2,800萬噸、省電11.3億度，朝機台能資源使用效率最大化的永續目標邁進。