三星突破日本出口管制！ 韓媒爆：國產EUV通過驗證導入生產

▲三星將一家韓國公司開發的EUV PR導入其量產生產線。（圖／路透）

記者高兆麟／綜合報導

根據韓國媒體報導指出，三星電子將一家韓國公司開發的EUV PR導入其量產生產線。這是由於 2019 年日本的出口管制後，經過三年的本地化努力後的結果。

根據韓媒Korea IT News報導，三星電子被發現將 Dongjin Semichem EUV PR 用於其半導體產線之一。去年東進半導體的EUV PR通過三星電子的可靠性測試後不到一年就應用於量產線。

儘管一條產線只是三星電子整個產線中非常小的一部分。但是由於它是一種完全依賴進口的產品，因此具有特殊的意義。

當三星電子在日本實施出口限制後試圖重組其 EUV PR 供應鏈時，Dongjin Semichem 跳入了產品開發領域。2020年聘任ASML Korea前CEO Young-sun Kim為副會長，為進軍EUV PR業務打下基礎。去年初，他們通過確保額外的 EUV PR 研發 (R&D) 人員來加速產品開發。

Dongjin Semichem 的 EUV PR 在三星華城校區進行了幾個月的驗證。由於三星將該產品用於實際的半導體生產，東進半導體成為第一家將EUV PR國產化至量產水平的公司。YOUNGCHANG Chemical和SK materials performance也在開發EUV PR，但還沒有達到可靠性驗證的水平。

未來三星電子是否會從 Dongjin Semichem 引入額外的 EUV PR 仍未確定。這是因為要考慮的因素很多，比如與海外EUV PR供應商的關係。目前也尚未確認東進半導體產品用於哪種工藝，由於供應量較小，預計未來是否會擴大供應，將以東進半導體的表現為主。

三星電子和 Dongjin Semichem 都表示，目前無法正式確認有關供應的任何細節。