▲台積電。（圖／記者高兆麟攝）
記者高兆麟／綜合報導
為實踐資源循環零廢棄願景，晶圓代工龍頭台積電（2330）推動「電子級化學品回收計畫」，將製程產出的廢棄資源轉製為符合品質標準的產品重回廠內使用，繼開發電子級四甲基氫氧化銨、環戊酮後，進一步與供應商合作針對異丙醇（IPA）廢液處理流程研發雙循環回收機制，除成功再製電子級異丙醇，亦將回收過程產生的廢水純化分離後回用於冷卻水塔，打造搖籃到搖籃的綠色循環體系。
台積電1月於晶圓十五B廠導入使用電子級異丙醇，預計年減新液採購量2,400公噸、減碳486公噸，創新資源循環里程碑。
台積電表示，異丙醇具備優異的溶解性、快速揮發性及去油汙能力，被廣泛應用於半導體各類製程中的清洗作業，由於其廢液組成複雜，再生後的純度要達到品質要求嚴格的半導體製程規格並不容易。
隨著先進製程發展使異丙醇需求量持續增加，為友善環境並提升廢液再利用價值，民國108年台積電即攜手供應商投入電子級異丙醇技術研究，因其廢液中的雜質成分容易產生金屬浸出，導致蒸餾生成電子級物料的純度與性能受到影響；因此，台積電先進分析暨材料中心、化學分析實驗室除輔導供應商改善不純物的檢驗分析方法外，並針對蒸餾塔製程廢料進行實驗設計測試，從中識別影響蒸餾效率的關鍵變數，協助供應商優化蒸餾塔製程技術，透過反覆調整塔內溫度、壓力、回流比、餾分提取等參數，找出最佳操作條件強化蒸餾塔的雜質分離效果，有效去除廢液中的混酸與金屬離子，使其符合電子級回用標準，且相較現行的丙烯法平均降低約9.7%碳足跡。
此外，為把關電子級異丙醇成品品質，台積電亦擴大出貨品質管控範圍，於供應商出貨前新增奈米懸浮微粒分析等檢測措施，確保電子級異丙醇於半導體製程中的應用性能與可靠度，使後續生產品質無虞。
台積電以「廢棄物產出最小化、資源循環使用最大化、廠商管理最優化」為準則，評估民國115年將電子級異丙醇再製技術導入中科零廢製造中心，開拓新的廢液回收產線，同時持續與供應商共同研究廢溶劑、磷酸與氫氟酸等廢液純化為電子級物料的新技術，深化資源再生價值。
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