▲東京威力科創總裁張天豪 。（圖／記者蕭文康攝）
記者蕭文康／台北報導
東京威力科創（TEL）今年參加台灣國際半導體展是歷年來規模最大的一次，總裁張天豪表示，公司深耕台灣市場，今年預計在新竹技術中心將擴充潔淨室一倍以上，協助客戶發展最前沿的技術，明年底台南新營運中心將正式成立，可再容納1000名人力，不管在人才培訓、在技術開發及客戶生產營運上來說，公司不遺餘力投入，主要是看好未來半導體的發展。
在台灣的發展上，他說公司在2年前不受疫情影響成立最先進台灣技術和訓練中心，引進全球最先進的技術，甚至台灣工程師要來台灣受訓。今年預計在新竹技術中心將擴充潔淨室一倍以上，協助客戶發展最前沿的技術。
明年底台南營運中心將正式成立，可再容納1000名人力，不管在人才培訓、在技術開發及客戶生產營運上來說，不遺餘力投入，看好未來半導體的發展。其中，訓練中心自2年以來累積練約5000多名工程師，還跟清華半導體產學研究。
針對公司在產品上的優勢方面，張天豪說，在進行EUV曝光機之前，還要塗佈和顯影，基本上先塗佈再曝光再顯影，而在曝光和顯影的設備，東京威力科創全球市佔幾乎達100%，會持續推出更高速度的設備。
對於近期美國和日本政府限制半導體設備出口至中國，張天豪強調，公司會遵守一切法令規定。
東京威力科創除了8吋、12吋設備之外，是全球少數仍有生產6吋設備的公司，積極和客戶合作。未來東京威力科創將打造充滿活力與夢想的公司，為半導體技術做出貢獻。
針對半導體前景方面，張天豪分析關於貿易上的問題，不管是牽涉到政策面及大環境，長期應用面來看，全球經濟還是會增長，2030年全球半導體產值會來到1兆美元，較現在成長1倍以上，除經濟面外，在應用面及技術面如何經濟成長，其中AI、尤其是生成式AI在很短時間累積一億用戶量、爆發式的成長。
在自駕方面，車廠未來最重要的部門會是軟體部門，電動車未來只是移動的生活空間，不只是交通工具而已，其最重要的應核心就是半導體中的AI晶片，東京威力科創這次在半導體展將發表2項核心的技術，其一是極低溫蝕刻的技術，其二是雷射晶邊修整系統，這2項技術可協助客戶更高運算、更低勢耗及更低成本和環保的AI晶片。特別是雷射晶邊修整系統可降低潔爭水用量70%，這種創新有夢想技術讓更新的晶片能做得出來，這才帶動半導體更多應用的關鍵。
Tokyo Electron（TEL）在台子公司東京威力科創，在2023國際半導體展也不缺席，TEL集團總裁暨執行長河合利樹特別來台，於大師論壇分享有關半導體創新及世界的共享價值。
河合利樹執行長表示，半導體產業的市場在2022年來到5740億美元，預期在2030年更將幾乎翻倍，超過1兆美元的市場價值；但人們也擔心將帶來巨大的能源消耗，因此Green x Digital正是我們所需要的，做為全球領先的半導體製造設備商，我們認為數位化和脫碳應該成為世界的共享價值觀。
此外，東京威力科創技術長(CTO)洛彼得Peter Loewenhardt也參與此次IC Forum，將分享TEL半導體製造設備的最新技術。包含雷射晶邊修整系統(UlucusTM L)，它大量減少純淨水的使用及粉塵、廢水的排放。洛彼得也將討論最新微影技術如何減少所需的EUV曝光次數，以節省電力及降低成本；極低溫蝕刻技術，利用極低的溫度，提高高深寬比蝕刻的速度及精確度。
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